柔性玻璃镀膜,成就曲线之美
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神钢可提供用于研究开发的卷对卷磁控溅射镀膜机。神钢简介点此入
| 柔性玻璃的特征
-Advantage（和PET等树脂薄膜相比）
● 优越的光学特性：透过率高；
● 表面平滑平坦；
● 尺寸稳定：不会因热膨胀或收缩；
● 耐热性高：可进行高温处理，所以可对膜品质进行改善；
● 物性稳定：耐热性・耐湿性・耐UV性・耐药品性等各种各样优越性；
● 阻隔性：可将水蒸气・氧气完全隔断；
● 可弯曲⇒可实现可弯曲的显示屏；
● 可卷成卷状⇒可进行卷对卷连续处理。
-问题
● 成本：比平板玻璃和PET薄膜昂贵。
随着今后产量加剧，柔性玻璃的成本可随之可行。
● 易碎性
当基材有瑕疵缺陷时，不恰当的操作，接触部材突起时，伴随着冲击会发生碎裂的现场。
● 弯曲半径
无缺陷的基材可弯曲径为<10mm。
但是有缺陷的话容易破碎。
● 搬运（搬送・切断等）
搬运时弯曲径小的话，增加了破碎的概率。
不能像树脂基材那样弯曲度那么小。
可对应柔性玻璃的设备很少。
| 神户制钢柔性玻璃镀膜装置的开发历史
● 柔性玻璃的历史（以日本电气硝子为例）
2006年～ 开发厚度100μm不到的薄板玻璃
2007年～ 开发Roll glass（可卷曲玻璃）
● 多家玻璃厂商开始供货
日本电气硝子（卷状为主）、旭硝子（片状为主）
美国Corning、德国Schott
● 镀膜事例的介绍
2012年 美国SVC （2012.5 SantaClara)
ITO的卷对卷镀膜报告
2012年 美国SID Meeting
ITO镀膜卷的样品展示（by 日本电气硝子）
提供ITO Glass roll (Press release by Coring)
● 神钢的布局
2011年： 最早实现Roll to roll ITO coating on Flexible glass
2012年： 在Filmtech展会（东京）展出ITO镀膜样品
～与用户共同开发，在学会上（IDW，SVC）发表镀膜技术开发
| Flexible glass的特性案例
（最新产品信息请与各厂商垂询）
Flexible glass的特性
（日本电气硝子发表的数据）
● 50um×800mmW×100mL
● 表面状态 Ra=0.1-0.2nm
● 透过率 92%
● 曲率半径 40mm
● 阻隔性(30umGlass)
WVTR <7×10-7g/m2/day
OTR <8×10-3cc/m2/day
出展：T.Murata,2011 IDW FMC8-1
Flexible glass的特性
（Corning公司发表的数据）
● 100um×1mW×300ｍL（附带Edge tab）
● 表面状态 Ra<0.5nm
● 热膨胀系数 3-5ppm
● 供货开始 2012Q3⇒2013Q3
出展：Willow Glass Fact sheet
Flexible glass with ITO
（Corning公司发表的数据）
● 100um×0.5mW×300mL
● Sheet方阻 100Ω/Sq
● 透过率 >87%､ b* <1
● 供货开始 2012Q4⇒2014？
出展：Willow Glass Fact sheet
厚度100μm的超薄玻璃板卷成1,000m长的卷。日本电气硝子的超薄玻璃卷，是其用于液晶用基板玻璃成型方法的进化工艺而成。正因为其卓越的超薄厚度使其可以卷成卷状。挑战并实现了极致超薄的玻璃卷可将生产显示屏的工艺梦幻般地和卷对卷工艺相结合。
| 神户制钢的ITO镀膜事例
在2012年高机能Film技术展（Filmtech)出展；在IDW’12、SVC2013发表了该特性；ITO的膜厚高，其方阻改善效果加大。因为可进行高温镀膜，所以可实现在PET Film上难以实现的低方阻值。
| 通过SEM对ITO断面进行观察
| 通过XRD观察ITO的结晶性
可观察到结晶化ITO的典型的峰值信号
| 光学性能
| 适合开发以及小规模生产用的磁控溅射卷绕镀膜机W35 系列
山形大学 有机EL研究机关引进，用其开发柔性显示材料
送膜
● 固定化的传送系统
● 传送辊可直接目视
● 张力反馈控制
镀膜
● 镀膜筒温度：可到300℃
● UBMS阴极
神钢商贸（上海）有限公司
机械电子部门
曹如杰 经理
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株式会社神户制钢所 机械事业部门
高机能商品部 营业室
TEL：+81-3-5739-6761